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本文標題："一般常用來量測薄膜性質的儀器簡介"
新聞來源：未知 發布時間：2012-12-1 0:41:55 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
一般常用來量測薄膜性質的儀器簡介
需要用到那些儀器來量測薄膜的性質呢？
一般常用來量測薄膜性質的儀器有如下幾種。
階梯式膜厚量測儀可量測薄膜厚度。原理是利用探針在試片表面上掃描鍍膜區與未鍍膜區間的高度落差，以測得薄膜厚度。
掃描式電子顯微鏡 可量測薄膜的表面或斷面形態、成分及厚度。原理是利用反射電子束或二次電子束的成像，獲得薄膜表面及斷面形貌。
穿透式電子顯微鏡可量測薄膜的內部結晶型態及晶體結構。原理是利用穿透式電子束直接成像，或繞射電子束成像，讀取薄膜內部組織及晶體結構的資訊。
原子力顯微鏡可以極高倍率量測薄膜表面的形貌、凡得瓦力、摩擦系數及表面能。原理是藉由探針以接觸、半接觸或未接觸方式，在薄膜表面掃描，并量取待測物表面上原子力的大小，做為形貌或表面性質判斷的依據。
Ｘ光繞射儀可探測薄膜內的晶體結構。原理是利用短波長的Ｘ光通過薄膜后產生的繞射圖譜，讀取薄膜晶體資訊。
微／奈米硬度機可量測薄膜本質硬度及彈性模數。原理是利用一個鉆石壓頭垂直施力于薄膜表面，讀取表面壓痕深度，或作用力與位移深度的關系，以評估微小機械特性。
刮痕測試機可量測薄膜與基材間的附著力。原理是利用鉆石探針側向施力于薄膜表面上，讀取表面刮痕與探針受力大小，做為度量薄膜附著力的依據。
磨耗測試機可量測薄膜相對于對手材的摩擦系數與磨耗量。原理是利用不同材質或不同形狀的對手材在薄膜表面上施力，并且做前后或圓周運動，讀取薄膜表面軌跡深度或損失量，以及摩擦力。
液滴接觸角量測儀可量測薄膜的親水性、潑水性及表面能。原理是利用測試液滴與薄膜之間的接觸角大小，得知薄膜表面能特性。
傅立葉轉換紅外線光譜儀可量測薄膜內部的化學官能基種類及鍵結方式。原理是利用紅外線透過薄膜之后產生的吸收光譜讀取薄膜資訊。
橢圓儀可量測薄膜的折射系數及厚度。原理是利用偏極的雷射光穿過薄膜后造成的相位差以獲得薄膜的折射系數及厚度資訊。
共軛焦顯微鏡常用來量測薄膜表面加工后的形態。原理是利用雷射光學斷層掃描原理讀取薄膜的表面形貌資訊。
霍耳量測儀可量測薄膜的導電度及載子濃度。原理是利用霍耳效應讀取薄膜資訊。
拉曼光譜儀可量測薄膜的鍵結方式。原理是利用可見光受到分子振動的作用而形成的散射位移量讀取薄膜資訊。
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