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本文標題："電子式微開關、微閥-薄膜制程技術，測量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2013-1-8 17:01:33 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
一種熱挫屈線性致動微結構（thermally buckling microstrutrue），
系利用隔離技術在微結構的兩端產生熱氧化的隔離層，或沈積熱膨脹系數較大的材料，
或減少熱傳導面積，使在微結構的兩端得到較大的熱應力，
且較均勻地加熱于薄膜結構，使之產生熱挫屈變形，
進而使薄膜式微結構的變形量可隨外界輸入之功率成線性比例放大。
此微結構使用薄膜制程技術制作成薄膜式（membrane type），未來可應用于電子式微開關、微閥、微幫浦等裝置上
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