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本文標題："精密量測非均質材料表面輪廓測量光學顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2013-3-18 20:09:59 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
精密量測非均質材料表面輪廓測量光學顯微鏡
傳統相移干涉式的顯微鏡怎樣準確量測非均質材料表面，
須外加橢偏儀做量測校準。此一做法使得量測時的不準確度增加，且無法做到全域性的量測。
如何建立一套全新的多功光學顯微系統，結合低成本之光學顯微鏡爲基礎，
在已開發完成之結合共焦顯微鏡與光子穿隧顯微鏡之多功顯微系統上，加上Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀架構，
以達到精密量測非均質材料表面輪廓之目的。論文中并將探討全域性Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀之各種量測架構，
以及如何結合創新相位重建技術－織錦式細胞自制演算法與精橢參數的校正于此一全新量測系統之各項步驟。
最后并利用實驗來驗證此系統架構的可行性。
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