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本文標題："投影顯微儀測量細微電子元件的輪廓外觀"
新聞來源：未知 發布時間：2013-7-22 0:57:18 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
投影顯微儀測量細微電子元件的輪廓外觀
利用自制低能量電子點投影顯微儀搭配具有高亮度及高同調
性之單原子針觀察由電子束引起的干涉條紋，及在沒有任何透鏡的情況下
取得繞射圖形。首先，我們利用納米碳管當做樣品以觀察由感應電荷引起
的干涉條紋。固定針和樣品之間的距離，藉由增大加在針上的偏壓，不只
干涉條紋的間距會受到影響而變小，具有等寬條紋的區域也會因而擴大。
搭配理論模擬可得知納米碳管上的感應電荷密度也隨著加在針上的偏壓
增加而增加。由此可知當真和樣品之間的距離逐漸減少時，電荷感應效應
會逐漸主導且成為干涉條紋的形成主要原因。
改變部分的儀器架構以利于進行繞射實驗。在繞
射實驗中，我們選擇利用懸掛在樣品支架中的單層石墨烯當做繞射實驗的
樣品。藉由調整伸縮式的光電倍增板至適當的位置，即可觀察到單層石墨
烯的繞射圖形。不需借助任何透鏡的調整，只需曝光數秒鐘就可以得到六
角型對稱的繞射圖形。
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