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本文標題："顯微物鏡哪有賣-專業測量微結構精密儀器制作的儀器"
新聞來源：未知 發布時間：2013-9-5 21:39:00 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
顯微物鏡哪有賣-專業測量微結構精密儀器制作的儀器
高深寬比之次微米微結構制作方法
有許多的研究群已提出了使用光致聚合法于高分子材料內制作高深寬比微結構之報
告，如Horiyama以及Wu等人分別使用單光子吸收及雙光子吸收光致聚合法于感光
液態樹脂與SU-8光阻內制作高深寬比之微結構，
他們共同點為使用高數值孔徑(NA = 1.4)之顯微物鏡將激光光聚焦于高分子聚合材料
內，其目的為產生直徑較小之焦點，
以獲得高分辨率，并輔以層層堆疊的方法制作微結構，
以達成高深寬比之目的。由于采用層層堆疊法，故以此方法制作微結構時，
需要較長時間。
我們所提出的方法與其他研究群使用的方法有一個很大的不同點，那就是僅使用單層掃
描的方法，即可制作高深寬比微結構，且其分辨率小于光學繞射極限，達到次微米的程度。
本法由于僅掃描一層，不需使用傳統層層堆疊的方法，故可縮短許多制作時間
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