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本文標(biāo)題："測量顯微鏡的整個儀器的設(shè)計制造和定制廠商"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-8-16 7:51:35 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
測量顯微鏡的整個儀器的設(shè)計制造和定制廠商
因為是測量微小的位移，所以基準(zhǔn)部分的直線運(yùn)動精度要
在0.01微米以內(nèi)。對于這樣的機(jī)構(gòu)和結(jié)構(gòu)，特別要討論下述幾
點。
(a)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向裝置像本儀器這樣高精度測量顯微鏡的情
況，過去予以忽略的導(dǎo)向而的摩擦，如前所述會成為振動源而影
響測定值，作為盡量減少摩擦影響的機(jī)構(gòu)，
因此，基準(zhǔn)部分的運(yùn)動，是X一Y平面上的圓弧運(yùn)動。但是，
測量距離最好是20微米左右。所以，如果從導(dǎo)向裝置的旋轉(zhuǎn)中
心到測量點為止的距離(旋轉(zhuǎn)半徑)大些，就可以看作是近似直
線運(yùn)動。
(b)在檢測部分采用了使用彈簧的觸針夾持機(jī)構(gòu)，這種.機(jī)
構(gòu)容易受到外部振動的影響，所以檢測部分安裝在固定支柱上，
在運(yùn)動部分安裝被測物體的夾持裝置，采用了對檢測部分移動被
測物體的方法。
(c)送進(jìn)裝置在測量顯微鏡的整個儀器中，是這種裝置的最
大的振動源。因此，把振動的產(chǎn)生抑制在最低限度的同時，重要
的是要盡量使產(chǎn)生的振動不要傳給基準(zhǔn)部分，檢測部分而進(jìn)行這
樣的設(shè)計。為此，特別是從驅(qū)動部分向運(yùn)動部分的基準(zhǔn)移動臺傳
榆動力的連結(jié)部分的機(jī)構(gòu)設(shè)計會成為問題，
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