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本文標題:"掃描電子顯微鏡是將細聚焦的電子束在樣品"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2015-11-11 23:09:45 本站主頁地址:http://m.zulinpingtai.cn

掃描電子顯微鏡是將細聚焦的電子束在樣品


而應(yīng)用電子顯微鏡觀察斷口形態(tài)和金相組織時,一般都
需用醋酸纖維紙(AC紙)或火棉膠進行二級碳復(fù)型制成碳膜。
這種沉積膜是無定型非晶質(zhì)的,它是按高斯原理成象的。即
當一電子束入射到碳膜、二氧化硅膜、火棉膠支持膜等樣品上
時,電子束將被散射,電子散射在一個立體角范圍內(nèi),其散射
強度隨散射角增加而降低。

掃描電子顯微鏡是將細聚焦的電子束在樣品(斷口實物)
表面掃描,并將樣品表面被掃描的微小區(qū)域內(nèi)激發(fā)產(chǎn)生的二
次電子、背反射電子、吸收電子、透射電子等信號進行檢測放
大,然后用來同步地調(diào)制陰極射線管熒光屏上相應(yīng)位置的亮度,

把樣品表面不同位置的訊號強度顯示在熒光屏上,得到相
應(yīng)樣品表面的放大象。由于二次電子的產(chǎn)生強烈地依賴入射
電子束與樣品表面之間的夾角,只有當入射電子束接近樣品
表面時,才有較多的二次電子逸出,而且又因為二次電子能量
低,只有靠近樣品表面大約100埃以內(nèi)的二次電子才能逸出。
所以,二次電子象主要是樣品表面形貌的反映,并且具有較高
的表面形態(tài)的分辨率。

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