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本文標題:"采用計算機元件金屬截面分析顯微鏡"

新聞來源:未知 發布時間:2018-5-21 22:01:41 本站主頁地址:http://m.zulinpingtai.cn

采用計算機元件金屬截面分析顯微鏡

PVr是采用計算機對36項澤克多項式進行最小二乘法擬合得到的,
并且考慮了擬合球面與實際球面的殘余誤差的均方根值。這個過程
給出了一個看似正確的PV值。沒有假像素帶來的不良結果。

    干涉條紋圖
    干涉條紋看起來就像一組彎曲的地形圖。中心有著相同方向的
一組弧形干涉條紋,表示干涉波前的相關半徑或離焦的差異,可以
通過輕輕按壓元件來辨別這個差異(凸或凹)。如果縮短干涉光程使
得干涉條紋向共有中心靠攏,說明被測波前是凹的;反之亦然。千
涉條紋的共有巾心當使用測試樣板時.這個時候彎曲方向的判斷是
由按壓垂直干涉條紋系統斜傾面的點來確定的。如果系統中心向按
壓方向移動,面形是凸的;如果遠離則為凹的。兩個條紋半個條紋

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