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本文標(biāo)題:"檢測型顯微鏡在電路芯片制造的應(yīng)用-檢測顯微鏡價格"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2014-4-18 19:53:41 本站主頁地址:http://m.zulinpingtai.cn

檢測型顯微鏡在電路芯片制造的應(yīng)用- 檢測顯微鏡價格

    顯微鏡在電路芯片制造的應(yīng)用

    在解剖集成電路器件以進(jìn)行工藝研究或描繪測從芯片版圖時,解剖
人員首先希望獲得一幅清晰的芯片表面放大照片,特別是對一些集成度
較高,工藝結(jié)構(gòu)較復(fù)雜的集成電路芯片,

    不僅要求照片有足夠大的放大倍率(一般為400 倍),更冤要的是,
從照片上能夠清楚辯認(rèn)制造芯片的各次光刻區(qū)間。

    可以應(yīng)用新的的集成電路芯片顯微照相技術(shù),在電路芯片拍照之前,
首先在芯片表面真空蒸發(fā)一層Al膜,就可大大改善拍照的效果。
    用這種辦法很容易得到圖象清晰、黑白分明的照片,而且不受芯氧
化層顏色的影響。照相底片經(jīng)放大10倍后曬出的照片,圖案仍象在描圖
紙上描繪出來的圖案一樣清晰,甚至在芯片預(yù)處理之前在顯微鏡下不易
認(rèn)準(zhǔn)的輪廓線條,在照片上也能清晰地顯露出來。

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