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本文標(biāo)題:"樣品材料表面的粒狀物質(zhì)檢查用工具顯微鏡"

新聞來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2014-4-21 17:26:38 本站主頁(yè)地址:http://m.zulinpingtai.cn

樣品材料表面的粒狀物質(zhì)檢查用工具顯微鏡

表面的粒狀物質(zhì)

    由于表面普遍存在粒子污染,所以凈化間題急需解決。其原
因是對(duì)電子器件所需潔凈度,以及怎樣徹底清除粒子的技術(shù)了解
甚少,只認(rèn)為這是一般的問(wèn)題。

    雖然有了高效過(guò)濾器,并在潔凈室的設(shè)計(jì)中得到了應(yīng)用,但
是,要使表面完全沒(méi)有灰塵或其它粒狀物質(zhì),實(shí)際上這是不可能
的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天,在顯微鏡黑色管筒上也能看到粒
狀物質(zhì)。同樣,將硅片在標(biāo)準(zhǔn)罩內(nèi)存放一星期,由于選擇性的粒子
污染,硅表面出現(xiàn)了鈉原子。

    清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或隋性溶劑
快速?zèng)_洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度,與日常清掃汽車(chē)相似。即
使高速行駛,汽車(chē)表面的粒狀物質(zhì)也只是小部分被“吹掉”;蛟S
這種比喻不怎么恰當(dāng),因?yàn)樵谄?chē)表面沉積了一層趨于增加粘附
力的有機(jī)膜,當(dāng)然在硅片上也是沉積了一層有機(jī)膜。如果有人想
用軟管的水流(沒(méi)有肥皂的)洗掉汽車(chē)上的塵土,那么經(jīng)驗(yàn)說(shuō)明,即
使水流壓力再高也達(dá)不到目的的。

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