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本文標題："精確激光測量儀-表面粗糙度測量儀器"
新聞來源：未知 發布時間：2014-8-24 23:02:19 本站主頁地址：http://m.zulinpingtai.cn
精確激光測量儀-表面粗糙度測量儀器
激光測量系統提供給機床制造商和用戶機床精度定位必要的基本的側量組成
部件，使用補償數據校正機械的定位誤差。其基本系統包括一個激光光源、補償
電子器件、光學器件、電纜及配件。通常需要一臺計算機控制系統和光學部件滿
足機械幾何性能的具體測量要求。為了校準，整個系統應能夠收集和分析不同的
測量數據，包括線性誤差、角度誤差、直線度誤差和垂直度誤差。一個線性激光
的測量分辨率可高達1nm。這是測量過程可以實現的高精度，它使用了以精確激
光波長為基礎的距離測量計算，從而相比其他的測量系統具有更高的精度。兩頻
率激光技術還經常用來消除光束強度變化所造成的種種問題，從而得到更好的魯
棒性和可靠性。激光束基本上沿著干涉儀和相關反射鏡之間做相對運動，所以大
多數激光測量系統進行的測量是一種線性測金。大多數情況下，干涉測量儀是固
定的光纖，角錐梭鏡是移動部件。其他測量如角度、直線度和垂直度測金，是基
本線性測量實現的特殊應用。在許多激光測量系統中，誤差補償表在激光測量和
控制輸人獲得后可以自動生成。這些表可用于伺服系統。
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